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Modellangepasste Streulichtanalyse am Beispiel von Drehteilen

Mit Hilfe der modellangepassten Streulichtanalyse können sowohl mittlere Topographieparameter der periodischen Drehriefen als auch die vertrauten Rauheitsparameter Ra und Rz berechnet werden. Das Lichtstreuverhalten eines Drehteils wird vorrangig von der Oberflächenrauheit beeinflusst, die sich aus einem dominanten periodischen Anteil und einem stochastischen Anteil zusammensetzt. Ziel der modellangepassten Streulichtanalyse von präzisionsbearbeiteten Drehteilen ist es, die relevanten Profileigenschaften verstärkt in die Streulichtverteilung abzubilden. Folgende Verfahrensschritte ermöglichen die quantitative streulichtoptische Analyse des periodischen Rauheitsanteils:

• Definition von globalen mikrogeometrischen Topographieparametern (Periodenlänge pl, Peak-to-valley pt, Asymmetriemaß pm)
• Optimierung der Streugeometrie durch streifenden Lichteinfall (Qi=80°)
• Anpassung des Beleuchtungsfleckdurchmessers  (ca. 5mm)
• Fittung der gemessenen Streulichtverteilung mit dem Kirchhoffschen Beugungsmodell oder dem RCWA- Beugungsmodell