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Specklemessverfahren zur Rauheitsanalyse

Das Verfahren basiert auf der statistischen Auswertung des von der Oberfläche reflektierten oder transmittierten modulierten Intensitätsmusters. Abhängig von der charakteristischen Rauhigkeit werden Speckleverteilungen entweder einzeln ausgewertet (Rq<0.15 µm) oder bei Variation eines Parameters (z.B. Einfallswinkel) miteinander verglichen (0.15 µm < Rq < 2 µm). Eine spezielle Anwendung ist die Rauhigkeitsanalyse bei schwer zugänglichen Oberflächen (Bohrungsinnenflächen, senkrechte Strukturflächen, etc.). Die Methode ist geeignet für die Rauhigkeitsprüfung sowohl von reflektierenden als auch von transparenten Proben (Folien, Glasscheiben). Mit Hilfe eines Simulationsalgorithmus kann die Effizienz der Speckle-Oberflächenuntersuchung für beliebige geometrischen Anordnungen im voraus modelliert und optimiert werden (vgl. Kirchhoffsches Beugungsmodell).