INNOVENT - Technologieentwicklung Jena

Beugungsmodell Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

Die selbstentwickelte kommerzielle Software UNIGIT erlaubt eine breite Anwendung zur Modellierung des Beugungsverhaltens mikrostrukturierter Oberflächen. Im Vordergrund steht die Berechnung der reflektierten und transmittierten  Beugungseffizienzen an einem Gitter, das in mehren Schichten und Grenzflächen korrugiert sein kann. Zudem lassen sich Polarisationsabhängigkeiten und Phasenlagen der einzelnen Beugungsordnungen sowie evaneszente Nahfelder berechnen. Zu Einzelheiten sei auf  die unter www.unigit.com dargestellten Beschreibungen und Sachverhalte verwiesen. Für die modellangepasste Streulichtanalyse findet das Modell Anwendung, wenn evaneszente Felder das Streuverhalten der Probe wesentlich prägen (vgl. modellangepasste Streulichtanalyse). In Zusammenarbeit mit dem IOF in Jena ist das System auf die Abstrahlung aus einem Schichtsystem mit Gittern erweitert worden. Die Abstrahlung elektrisch angeregter Dipole erfolge im nachfolgenden Beispiel aus der dritten Schicht.